在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法
- 申请号:CN201110427990.3
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院兰州化学物理研究所
- 公开(公开)号:CN103160801A
- 公开(公开)日:2013.06.19
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法 | ||
| 申请号 | CN201110427990.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN103160801A | 公开(授权)日 | 2013.06.19 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明(设计)人 | 张俊彦;张斌;强力;杨涛;郑愉 |
| 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I |
| 专利有效期 | 在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法 至在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种在金属内表面制备类金刚石碳膜的方法,具体是利用等离子体化学气相沉积技术,在内表面制备高硬度、低摩擦系数、良好的耐腐蚀性和低粘着力的类金刚石薄膜的方法。本发明能够在发动机缸套、储油罐内壁、排气管道、消音器等内壁沉积高结合力类金刚石薄膜。 | ||
交易流程
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