专利详情

专利名称	一种纳米层状结构的二硼化钛/镍涂层及其制备方法
申请号	CN201110419340.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103158293A	公开（授权）日	2013.06.19
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;葛芳芳;王博;王怀勇
主分类号	B32B15/04(2006.01)I	IPC主分类号	B32B15/04(2006.01)I;B32B18/00(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种纳米层状结构的二硼化钛/镍涂层及其制备方法至一种纳米层状结构的二硼化钛/镍涂层及其制备方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明涉及一种具有纳米层状结构的二硼化钛/镍涂层及其制备方法，其特征在于该TiB2/Ni涂层是由金属Ni和TiB2原位复合而成，具有多层金属Ni层与TiB2陶瓷层相互叠加而成的纳米层状结构，其中每层的厚度为6-60nm，金属Ni含量为5-30at.％；所述TiB2/Ni涂层中金属Ni层与TiB2陶瓷层的层数为20-100000层，每层金属Ni层的厚度为1-10nm，每层TiB2层的厚度为5-50nm。本发明的纳米层状结构的TiB2/Ni涂层表现出了良好的韧性和很高的硬度，这极大的扩大了此涂层的应用范围。同时本发明用于制备纳米层状结构TiB2/Ni涂层的磁控溅射双靶共沉积技术操作方便，无需后处理等工艺，制备周期短，成本低，可复现性好，可实现工业化大生产。