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光纤光栅传感器

  • 申请号:CN201220661628.2
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电研究院
  • 公开(公开)号:CN202994328U
  • 公开(公开)日:2013.06.12
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 光纤光栅传感器
申请号 CN201220661628.2 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN202994328U 公开(授权)日 2013.06.12
申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 范元媛;沙鹏飞;宋兴亮;赵江山;李慧;鲍洋;周翊;王宇
主分类号 G01K11/32(2006.01)I IPC主分类号 G01K11/32(2006.01)I
专利有效期 光纤光栅传感器 至光纤光栅传感器 法律状态
说明书摘要 本实用新型公开了一种精确测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器,包括:由再涂覆后的光纤光栅传感头(1)、连接在光纤光栅传感头(1)一端的传输光纤(2),以及充满不锈钢管(5)内部的导热胶(3)组成的光纤光栅传感元;可插入待测腔体的、封装光纤光栅传感元的表面镀镍的不锈钢管(5);设置在不锈钢管(5)周圈的固定环臂(6)、固定环臂(6)上的固定螺孔(7),和固定环臂(6)内侧的密封圈(10);设置在不锈钢管(5)开口顶端的光缆衔接管(4)、开口顶端凸出的出线管(9),和出线管输出的光缆(8)。本实用新型可用于高压、强腐蚀性环境下温度的测量,可靠性高,寿命长。

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