专利详情

专利名称	基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔
申请号	CN201310054167.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103151679A	公开（授权）日	2013.06.12
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	丁金滨;刘斌;沙鹏飞;王宇;周翊;赵江山
主分类号	H01S3/03(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/03(2006.01)I;H01S3/036(2006.01)I;H01S3/038(2006.01)I;F04D29/26(2006.01)I
专利有效期	基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔至基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔	法律状态	授权
说明书摘要	本发明属于激光器技术领域，具体涉及一种单腔双电极放电腔及采用该放电腔的准分子激光器，其包括腔体和两套主放电电极，所述腔体包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，所述两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。所述腔体内设置两套风机叶轮来驱动气体，以保证每次经过放电区的气体为新鲜气体；并且，所述风机叶轮为贯流风机叶轮。本发明通过一个单腔结构实现双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性。同时，在放电腔中采用的叶轮中风叶的布局方式，可以提高风机轴向的均匀性，并降低风机系统的噪声。