专利详情

专利名称	一种浸没式紫外光学系统
申请号	CN201310062008.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103149808A	公开（授权）日	2013.06.12
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	白瑜;邢廷文;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远;冉英华
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I
专利有效期	一种浸没式紫外光学系统至一种浸没式紫外光学系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种浸没式紫外光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该浸没式紫外光学系统，沿其光轴方向包括第一单元、第二单元、第三单元、第四单元和第五单元。从光束入射方向依次排布第一单元组L1具有正折光力，第二单元组L2具有正折光力，第三单元组L3具有正折光力，第四单元组L4具有负折光力，第五单元组L5具有负折光力。本发明的浸没式紫外光学系统能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。