光刻机设备用离轴照明装置
- 申请号：CN201310096136.2
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103149809A
- 公开(公开)日：2013.06.12
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 光刻机设备用离轴照明装置 | ||
| 申请号 | CN201310096136.2 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103149809A | 公开（授权）日 | 2013.06.12 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 杨宝喜;宋强;朱菁;陈明;胡中华;肖艳芬;刘蕾;王俊;张方;黄惠杰 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I |
| 专利有效期 | 光刻机设备用离轴照明装置 至光刻机设备用离轴照明装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双二极照明，双四极照明。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言