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提拉泡生法生长晶体的装置

  • 申请号:CN201310116108.2
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海硅酸盐研究所
  • 公开(公开)号:CN103147121A
  • 公开(公开)日:2013.06.12
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 提拉泡生法生长晶体的装置
申请号 CN201310116108.2 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103147121A 公开(授权)日 2013.06.12
申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 陈伟超;李红军;钱小波;徐军;唐慧丽;胡克艳;王静雅;汪传勇;吴锋;唐飞
主分类号 C30B15/00(2006.01)I IPC主分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I
专利有效期 提拉泡生法生长晶体的装置 至提拉泡生法生长晶体的装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种提拉泡生法生长晶体的装置,所述装置包括:夹持籽晶的复合型籽晶杆(2),所述复合型籽晶杆(2)包括可相互分离或接合的主水冷杆(19)与籽晶夹具(21),所述主水冷杆(19)和籽晶夹具(21)能够独立地上下运动和顺逆旋转运动;容纳有用于生长晶体的熔体的坩埚(11);以及温场调节单元,所述温场调节单元包括发热体(7)、上保温罩(8)、侧保温层(3)和下保温层(10),所述上保温罩(8)位于所述坩埚(11)的上方且能够升降,所述发热体(7)位于所述坩埚(11)和侧保温层(3)之间。

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