专利详情

专利名称	用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置
申请号	CN201310093540.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103149618A	公开（授权）日	2013.06.12
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	张运波;曾爱军;黄惠杰
主分类号	G02B5/20(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/20(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置至用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置，特点在于其构成依次包括表面镀膜的第一光栅、对于13.5nm光谱具有高透过率的薄金属片和表面镀膜的第二光栅，所述的第一光栅、第二光栅与薄金属片表面互相平行，第一光栅和第二光栅的线条方向相互垂直，光栅常数为10～150nm，占空比为40%～60%，厚度为1～10mm。薄金属片由锆或钼制成，厚度0.1～5mm。本发明装置结构简单，使激光等离子体辐射的光谱纯化。