专利详情

专利名称	基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法
申请号	CN201310037257.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103149013A	公开（授权）日	2013.06.12
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	何煦;吴国栋
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G02B27/36(2006.01)I
专利有效期	基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法至基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法属于光学检测与装调技术领域，该方法解决了平行光管分划板定焦精度较低、无法定量判读的问题，该方法包括通过调整球面反射镜、平行光管和干涉仪共光轴，球面反射镜焦点与平行光管轴上焦点齐焦，将分划板引入光路中，微调分划板的俯仰方位角，并沿光轴方向对分划板进行前后离焦调整；对干涉仪采集的干涉条纹进行计算，通过Zernike系数的Power值、干涉光束口径D以及平行光管焦距f′的数学关系，得到分划板的离焦量Δd，实现基于平面干涉原理的平行光管分划板高精度装调方法。本发明计算出分划板实时的失调量，避免了人工目视判读寻找回转点的盲目性，提高了装调效率和精度。