一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具
- 申请号：CN201210211614.5
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号：CN102732955A
- 公开(公开)日：2012.10.17
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具 | ||
| 申请号 | CN201210211614.5 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102732955A | 公开（授权）日 | 2012.10.17 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 梁平;胡颖;刘俊岐;刘峰奇;王利军;张锦川 |
| 主分类号 | C30B23/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B23/02(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具 至一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，包括：一支撑板(11)；四个金属针状样品夹(12)；一辅助样品夹金属板(13)；二个辅助样品夹金属板固定螺丝(14)；四个金属针状样品夹固定螺丝(15)；以及四个金属针状样品夹圆弧形滑槽(16)。本发明提供的用于电子束蒸发的半导体外延片夹具，简单易行，对样品大小及形状没有限制、传热性能好、样品无遮挡。 | ||
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