专利详情

专利名称	一种大口径窗口检测装置及检测方法
申请号	CN201210339686.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102889978A	公开（授权）日	2013.01.23
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	闫锋涛;范斌;伍凡;侯溪;万勇建
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种大口径窗口检测装置及检测方法至一种大口径窗口检测装置及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种大口径窗口检测装置及检测方法，基于补偿器和子孔径拼接原理，包括相移干涉仪、补偿器、被测窗口、标准球面镜、调整机构及计算机系统；计算机系统与相移干涉仪连接，补偿器补偿被测窗口放入相移干涉仪与标准球面镜组成的自准直光路中所引入的象差；被测窗口通过调整机构进行调节，使相移干涉仪获得被测窗口上有相互重叠区域的子区域透射波前信息，最后由安装在计算机系统上的数据处理软件对所得到的子区域透射波前信息进行拼接处理，获得被测窗口的全口径透射波前信息；本发明为高精度大口径窗口加工测量提供检测装置及检测方法，具有较大的应用价值。