专利详情

专利名称	一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统
申请号	CN201210589804.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103095200A	公开（授权）日	2013.05.08
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王德坤;谢朝辉;赵明琦;刘海南;周玉梅;黑勇
主分类号	H02P8/14(2006.01)I	IPC主分类号	H02P8/14(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I
专利有效期	一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统至一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种旋转装置和基于该旋转装置的单粒子测试系统，该旋转装置包括控制器、电机、以及分别与控制器和电机连接的驱动器，其中：控制器用于接收不同的第一控制请求，并依据第一控制请求向驱动器发送相应的第一控制指令；驱动器依据第一控制指令驱动电机转动或者停止；该电机转动或停止时，用于带动测试母板转动或停止，测试母板上设置多个测试子板，通过该旋转装置可以增加测试子板的个数和被测器件的数量，使得在进行单粒子效应模拟试验时，减少了更换被测器件的次数，解决现有技术中，由于每次测试的被测器件数量有限，需要频繁更换被测器件而使得操作繁琐的问题，且每次更换被测器件时进行抽真空操作浪费加速器资源的问题。