专利详情

专利名称	一种热型红外探测器
申请号	CN201010228701.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102313601A	公开（授权）日	2012.01.11
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	董立军;陈大鹏
主分类号	G01J5/20(2006.01)I	IPC主分类号	G01J5/20(2006.01)I
专利有效期	一种热型红外探测器至一种热型红外探测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出一种热型红外探测器，包括：红外吸收元件，所述红外吸收元件包括热膨胀材料；应力改变元件，至少部分所述应力改变元件被所述红外吸收元件包围；和至少两个电极，与所述应力改变元件接触。红外吸收元件吸收红外温度升高而产生热膨胀，从而挤压与红外吸收元件相连的应力改变元件，使该应力改变元件内部产生应力，进而使其载流子迁移率发生变化，即电阻率发生变化，通过电阻率的变化表征应力改变元件的应力变化，最终表征被吸收的红外辐射功率。本发明的优点在于，所述器件的制造完全基于大规模集成电路的硅平面工艺，具有低成本高产出的特点。