专利详情

专利名称	一种制备平面缩放倍率超分辨成像透镜的方法
申请号	CN201010617734.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102096123A	公开（授权）日	2011.06.15
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	刘凯鹏;罗先刚;王长涛;刘玲;冯沁;赖之安;杨欢
主分类号	G02B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B3/00(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I
专利有效期	一种制备平面缩放倍率超分辨成像透镜的方法至一种制备平面缩放倍率超分辨成像透镜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种制备平面缩放倍率超分辨成像透镜的方法，包括：在基片上制备圆形或正方形或长方形的平底凹槽；在基片上沉积一层银膜层，再在银膜层上涂布一层可固化的溶胶层，其中溶胶层在表面张力的作用下会在凹槽位置形成弧面，经加热或紫外光照射后溶胶层固化；依此类推，在基片上交替沉积银膜层和涂布、固化溶胶层，在凹槽位置得到由多层银膜层和溶胶层交替组成的多层弧面膜层，直到将凹槽填平，就得到了物面和像面均为平面的缩放倍率超分辨成像透镜。该平面缩放倍率超分辨成像透镜能够二维缩小或放大成像，可应用于超分辨缩小光刻或放大成像。这解决了当前平面缩放倍率超分辨成像透镜难以制作的难题，在成像和光刻领域拥有巨大的应用潜力。