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一种半导体器件

  • 申请号:CN201190000071.1
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN202633239U
  • 公开(公开)日:2012.12.26
  • 法律状态:
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专利详情

专利名称 一种半导体器件
申请号 CN201190000071.1 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN202633239U 公开(授权)日 2012.12.26
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 尹海洲;骆志炯;朱慧珑
主分类号 H01L21/336(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/336(2006.01)I
专利有效期 一种半导体器件 至一种半导体器件 法律状态
说明书摘要 本实用新型公开了一种半导体器件,包括:衬底,所述衬底为碳化硅、体硅、掺杂或未掺杂的硅玻璃中的一种或其组合;石墨烯层或碳纳米管层,所述石墨烯层或碳纳米管层形成于所述衬底上;栅极结构,所述栅极结构形成于所述石墨烯层或碳纳米管层上,且暴露部分所述石墨烯层或碳纳米管层;金属接触层,所述金属接触层环绕所述栅极结构,且位于暴露的所述石墨烯层或碳纳米管层上。

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