基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法
- 申请号：CN201210253385.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN102768474A
- 公开(公开)日：2012.11.07
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法 | ||
| 申请号 | CN201210253385.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102768474A | 公开（授权）日 | 2012.11.07 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 杨济硕;王向朝;闫观勇;徐东波 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法 至基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种基于二阶像差模型的投影物镜波像差检测方法，该方法利用主成分分析和多元线性回归分析的方法，建立了空间像光强分布与泽尼克系数之间的二阶关系模型，并利用非线性最小二乘法，优化算得表征投影物镜成像质量的波像差值。与基于空间像主成分分析的线性关系模型（AMAI-PCA）相比，本发明拓展了测量像差的幅值范围，当波像差幅值相等时，本发明拥有更高的测量精度。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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