专利详情

专利名称	包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射检测装置及检测方法
申请号	CN201210262289.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102768202A	公开（授权）日	2012.11.07
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	李顺光;李夏;陈伟;胡丽丽
主分类号	G01N21/55(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/55(2006.01)I
专利有效期	包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射检测装置及检测方法至包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射检测装置及检测方法	法律状态	授权
说明书摘要	一种包边大尺寸钕玻璃包边剩余反射的检测装置及检测方法，检测装置包括第一激光光源、光束整形透镜组、分光镜、第一全反镜、光束定位系统、待测样品、激光强度探测器、剩余反射探测器和数据处理系统，上述元部件的位置关系如下：沿第一激光光源的激光输出方向依次是光束整形透镜组和分光镜，该分光镜将入射光分为透射光和反射光，在该反射光方向是所述的激光强度探测器，在所述的透射光方向依次是所述的第一全反镜、光束定位系统、待测样品和剩余反射探测器，所述的激光强度探测器和剩余反射探测器的输出端与所述的数据处理系统的输入端相连。本发明可根据实际情况需要测定不同入射角度和不同位置的包边剩余反射，测量精度高。