专利详情

专利名称	激光程控气体浓度检测系统及检测方法
申请号	CN200910237838.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102062722A	公开（授权）日	2011.05.18
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	孙可;谢亮;鞠昱;韩威;王欣;祝宁华
主分类号	G01N21/17(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/17(2006.01)I;G01N21/00(2006.01)I
专利有效期	激光程控气体浓度检测系统及检测方法至激光程控气体浓度检测系统及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种激光程控气体浓度检测系统，包括：一程序控制处理器；一程控电流源通过连线与程序控制处理器通讯；一柱形气室的一端的中心安装有法兰装置；一长波长激光器的一端通过光纤将光耦合进柱形气室的法兰中，另一端与程控电流源连接；一光电探测器安装在柱形气室的另一端；一微电流检测计采集光电探测计上的电流信号，该微电流检测计与程序控制处理器通讯；一信号发生器将调制信号加载在程控电流源上，该信号发生器与程序控制处理器通讯；一锁相放大器采集光电探测计上的信号，该锁相放大器与程序控制器通讯。