专利详情

专利名称	反馈稳幅的调幅测力梯度仪及其扫描力显微镜和测频仪
申请号	CN201010516422.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102043070A	公开（授权）日	2011.05.04
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	施益智;陆轻铀
主分类号	G01Q30/00(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q30/00(2010.01)I;G01Q60/00(2010.01)I;G01R23/02(2006.01)I
专利有效期	反馈稳幅的调幅测力梯度仪及其扫描力显微镜和测频仪至反馈稳幅的调幅测力梯度仪及其扫描力显微镜和测频仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	反馈稳幅的调幅测力梯度仪，含力传感器、力传感器信号检测器、压电振荡器、振幅检测器，压电振荡器上固定的力传感器经力传感器信号检测器输出至振幅检测器，其特征还含比较器、可变增益放大器、偏差信号放大器，比较器的信号输入和输出分别接振幅检测器输出和偏差信号放大器输入，可变增益放大器的增益控制输入和输出分别接偏差信号放大器输出和压电振荡器，该测力梯度仪的输出、频率输入和振幅设置输入分别由偏差信号放大器输出、可变增益放大器信号输入和比较器参考输入构成。将XYZ定位器置于样品与压电振荡器之间，就构成扫描力显微镜。该测力梯度仪也可测频率输入端的待测信号频率。本发明大大提高传统调幅测力梯度仪测速但不损失频率分辨率。