专利详情

专利名称	大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法
申请号	CN201010568739.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102062678A	公开（授权）日	2011.05.18
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	张春香;朱宝强;唐顺兴;缪洁;高妍琦;惠宏超;郭亚晶
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法至大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法，装置由光学系统、光电转换和机械控制系统及信号处理系统构成。光学系统包括固体激光器、起偏器、用于调整光路和预成像的可见光光源及其扩束系统、分光棱镜和衰减片；光电转换和机械控制系统包括光电探测器、科学级网络CCD和元件支撑平台；信号处理系统由数据采集卡、网线和计算机组成。科学级网络CCD实现所述光电探测器上光斑位置的监测，反馈调整探测器至最佳位置，同时也监测反射或透射光束的宏观分布图，反映反射率或透射率的均匀性。本发明装置和方法具有结构简易、调整方便、效率和精度高的特点，重复测量精度达到0.05％。