专利详情

专利名称	分布放大的取样光栅分布布拉格反射可调谐激光器结构
申请号	CN201010564545.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102044844A	公开（授权）日	2011.05.04
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	刘扬;赵玲娟;朱洪亮;潘教青;王圩
主分类号	H01S5/125(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/125(2006.01)I
专利有效期	分布放大的取样光栅分布布拉格反射可调谐激光器结构至分布放大的取样光栅分布布拉格反射可调谐激光器结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种分布放大的取样光栅分布布拉格反射可调谐激光器结构，包括：一衬底；一n-InP缓冲层制作在衬底上；一InGaAsP下限制层制作在n-InP缓冲层上；一增益层制作在InGaAsP下限制层上；一InGaAsP上限制层制作在增益层上，其表面形成有取样光栅结构，该取样光栅光栅结构位于无源波导之上；一p-InP层制作在InGaAsP上限制层上；一p-InGaAsP刻蚀阻止层制作在p-InP层上；一上p-InP盖层制作在p-InGaAsP刻蚀阻止层上；一p-InGaAs接触层制作在上p-InP盖层上，其上形成有不同区段的隔离沟；一金属电极制作在p-InGaAs接触层的上表面，形成光栅分布布拉格反射可调谐激光器结构；其中该光栅分布布拉格反射可调谐激光器结构分为分布放大前取样光栅区、增益区、相区和分布放大的后取样光栅区。