专利详情

专利名称	真空系统氦气恒压控制装置
申请号	CN201020541758.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201788423U	公开（授权）日	2011.04.06
申请（专利权）人	中国科学院武汉物理与数学研究所	发明（设计）人	佘磊;杨玉娜;柳浩;屈万成;李交美
主分类号	G05D16/20(2006.01)I	IPC主分类号	G05D16/20(2006.01)I
专利有效期	真空系统氦气恒压控制装置至真空系统氦气恒压控制装置	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型公开了一种真空系统氦气恒压控制器。该装置利用真空规的测量真空系统中的氦气压强信号，并将该压强信号和设定值比较产生反馈信号，通过该反馈信号调节过滤式氦气微漏阀（下文简称氦漏，见专利CN1479031A）的加热功率，最终使得真空系统的氦气压强达到设定值。该装置及方法具有如下优点:该装置利用真空规直接反馈压强信号，通过该反馈信号控制氦漏加热丝的加热功率，调节氦气的渗透率，实现对注入真空系统中氦气压强的直接控制，不受环境温度、真空泵抽速及氦漏两边氦气压强差变化的影响；该控制器利用脉宽调制实现对氦漏加热功率即氦气渗透率的控制，对注入真空系统中氦气压强具有较高的控制灵敏度。