一种投影光刻机中的光束稳定装置
- 申请号：CN201010256374.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN101963765A
- 公开(公开)日：2011.02.02
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种投影光刻机中的光束稳定装置 | ||
| 申请号 | CN201010256374.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101963765A | 公开（授权）日 | 2011.02.02 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 徐文祥;邢薇;罗正全;马平;王建 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种投影光刻机中的光束稳定装置 至一种投影光刻机中的光束稳定装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种投影光刻机中的光束稳定装置，它可以对投影光刻机中的激光光源因地基振动、传输路径中气体抖动、环境温度、湿度、气压等变化引起的光束在方向与位置上的漂移进行校正，保证了光刻系统的成像及光刻质量。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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