专利详情

专利名称	MEMS三轴加速度传感器及其制造方法
申请号	CN201110106037.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102759637A	公开（授权）日	2012.10.31
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	吴亚明;杨丹琼;徐静;钟少龙
主分类号	G01P15/18(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/18(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	MEMS三轴加速度传感器及其制造方法至MEMS三轴加速度传感器及其制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种MEMS三轴加速度传感器及其制造方法。根据本发明的MEMS三轴加速度传感器包括支撑框体、弹性梁、敏感质量块、下支撑体、栅型敏感电容和引线电极；其中，敏感质量块通过弹性梁悬于支撑框体之间，支撑框体通过键合与下支撑体连接，敏感质量块与下支撑体之间有间隙，敏感质量块上制作了栅型电容的上电极，下支撑体的内表面上制作栅型电容的下电极组，上电极与下电极组错位排列构成一组栅型电容，该组栅型电容从引线电极输出;其中，该组栅型电容包括第一电容、第二电容、第三电容和第四电容，第一电容与第二电容、第三电容与第四电容分别构成差分检测电容，所述MEMS三轴加速度传感器通过电容的运算实现三轴加速度量的同时检测。