专利详情

专利名称	基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器
申请号	CN200910087345.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101923052A	公开（授权）日	2010.12.22
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	景玉鹏;高超群
主分类号	G01N21/35(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/35(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I
专利有效期	基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器至基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器，通过分析气体的红外吸收谱，确定气体的成分和浓度，该气敏传感器由集成在硅衬底上的红外光源(1)、分析气室(2)、光子晶体滤波器(3)和红外光强检测阵列(4)构成。该传感器利用气体的红外透射信息进行气体检测，通过特征峰的位置判断气体种类，并通过特征波长的吸光度确定气体含量，有效解决现有气敏传感器灵敏度低、检测气体种类有限、抗干扰能力低的问题。且本传感器的制作与CMOS工艺兼容，便于集成、可降低成本并推广使用。