专利详情

专利名称	偏振光栅自参考自准直二维测角装置
申请号	CN201110006877.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102175184A	公开（授权）日	2011.09.07
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	陈旺富;胡松
主分类号	G01B11/26(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/26(2006.01)I
专利有效期	偏振光栅自参考自准直二维测角装置至偏振光栅自参考自准直二维测角装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种偏振光栅自参考自准直二维测角装置，包括照明光源、物光栅、分光镜、物镜、被测面、偏振片、石英晶体、参考光栅、第一及第二偏振分光镜、第一及第二光电探测器，物光栅被物镜成像到无穷远处，经被测面反射后再次被物镜成像到物镜焦面上并与参考光栅重合。在参考光栅之前放置有偏振片和石英晶体，石英晶体使得物光栅像分解为两个偏振方向相互垂直的偏振像。透过参考光栅出射后，偏振像被偏振分光镜分离，通过测量两个偏振光分量的相对光强获得被测面的角度变化。采用不同方向的光栅可以测量不同方向的角位移，实现二维测量。本发明测量精度高，信号稳定性高，抗干扰能力强。