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一种聚酰胺酸内涂胶及其制备方法和用途

  • 申请号:CN98100003.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院化学研究所
  • 公开(公开)号:CN1222549
  • 公开(公开)日:1999.07.14
  • 法律状态:公开
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种聚酰胺酸内涂胶及其制备方法和用途
申请号 CN98100003.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN1222549 公开(授权)日 1999.07.14
申请(专利权)人 中国科学院化学研究所 发明(设计)人 杨士勇
主分类号 C09D177/00 IPC主分类号 C09D177/00
专利有效期 一种聚酰胺酸内涂胶及其制备方法和用途 至一种聚酰胺酸内涂胶及其制备方法和用途 法律状态 公开
说明书摘要 本发明的聚酰亚胺内涂胶及其制备方法,涉及一 种聚酰亚胺薄膜,该内涂胶中包括有机溶剂(85—95)、芳香族四 酸二酐(5.0—10)、芳香族二胺混合物(1.0—6.0)、以及有机硅分 子量调节剂和增粘剂(0.01—2.0)。本发明的聚酰胺酸内涂胶为 均匀透明的液体,储存稳定性好,可涂覆在单晶硅、SiO2、Al或Ni等金属的表面,经加热固化后制成微电子器件的缓冲内涂膜、芯片保护钝化膜或多层金属互联结构的层间绝缘膜等。

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