专利详情

专利名称	一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法
申请号	CN201210321488.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102817007A	公开（授权）日	2012.12.12
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李斌成;柳存定;孔明东;郭春
主分类号	C23C14/54(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/54(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;G02B1/12(2006.01)I
专利有效期	一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法至一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种提高大口径球面光学元件深紫外增透膜透射率均匀性的方法，通过实验或理论方法，获得高真空镀膜机中大口径球面光学元件单层膜厚度均匀性修正挡板形状；利用修正挡板修正增透膜中每一层薄膜厚度均匀性，在球面光学元件上按照膜系设计要求沉积厚度均匀分布的高、低折射率介质层制备增透膜；通过在干燥大气环境中利用紫外光辐照大口径球面光学元件，获得透射率均匀分布的增透膜。本发明可以提高大口径球面光学元件，特别是大口径/曲率半径比球面光学元件表面增透膜及其他膜系透射光谱特征的均匀性。