专利详情

专利名称	一种用于超高真空测试的送样装置
申请号	CN201110141894.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102809661A	公开（授权）日	2012.12.05
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	徐长有;赵世柯;邓峰
主分类号	G01N35/10(2006.01)I	IPC主分类号	G01N35/10(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I
专利有效期	一种用于超高真空测试的送样装置至一种用于超高真空测试的送样装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于超高真空测试的送样装置，涉及真空测试技术，包括真空罐、样品座、样品固定销钉、送样杆、样品连接杆、连接螺钉、样品连接头、插板阀；真空罐主体轴向一端为观察窗，径向有垂直腔、水平腔，水平腔中部有插板阀；插板阀左侧为超高真空区，右侧为低真空区，两真空区有抽气装置；待测样品由样品固定销钉固定在样品座上表面，连接螺钉将左侧的样品连接杆与样品连接头可分开的固接，样品座与样品连接头固接，位于真空腔内；样品连接杆、样品连接头、样品座、送样杆成一字水平设置，共轴线。本发明的用于超高真空测试的送样装置，结构简单，易于制造，送样可靠，可应用于各种真空测试与分析设备。