专利详情

专利名称	一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源
申请号	CN201210229966.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102801093A	公开（授权）日	2012.11.28
申请（专利权）人	中国科学院安徽光学精密机械研究所	发明（设计）人	王庆胜;游利兵;方晓东;余吟山;厉彦超;梁勖;王效顺;赵家敏
主分类号	H01S3/09(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/09(2006.01)I
专利有效期	一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源至一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源，包括直流电源、升压脉冲变压器、磁脉冲压缩开关电路，激励源温度控制系统、油箱，直流电源与滤波电容并联后经半导体开关IGBT连接在升压脉冲变压器初级线圈两端，升压脉冲变压器的次级线圈接入磁脉冲压缩开关电路，升压脉冲变压器及两级磁脉冲压缩开关集成在高压油箱内。本发明替代传统准分子激光器采用闸流管作为主开关的激励源，解决因闸流管的放电寿命有限、残余振荡、预热启动及其老化过程中的自导通等缺点而影响准分子激光器的整体工作性能的问题，满足准分子激光器高重复频率、长寿命、稳定运行需求。