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HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器

  • 申请号:CN201010123021.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN101814545A
  • 公开(公开)日:2010.08.25
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器
申请号 CN201010123021.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN101814545A 公开(授权)日 2010.08.25
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 张宇;王国伟;汤宝;任正伟;徐应强;牛智川;陈良惠
主分类号 H01L31/11(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/11(2006.01)I
专利有效期 HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器 至HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器,包括:一GaSb衬底,利用分子束外延方法在GaSb衬底上依次制备出GaSb缓冲层、GaSb收集区、InAs/GaSb超晶格基区、AlGaAsSb基区、AlGaAsSb发射区以及GaSb盖层;一上电极,采用溅射的方法制作在GaSb盖层的表面,该上电极的中间开有一光的入射口;一下电极,采用溅射的方法制作在GaSb衬底的下表面。

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