HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器
- 申请号:CN201010123021.4
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号:CN101814545A
- 公开(公开)日:2010.08.25
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器 | ||
申请号 | CN201010123021.4 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN101814545A | 公开(授权)日 | 2010.08.25 |
申请(专利权)人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明(设计)人 | 张宇;王国伟;汤宝;任正伟;徐应强;牛智川;陈良惠 |
主分类号 | H01L31/11(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/11(2006.01)I |
专利有效期 | HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器 至HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 一种HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器,包括:一GaSb衬底,利用分子束外延方法在GaSb衬底上依次制备出GaSb缓冲层、GaSb收集区、InAs/GaSb超晶格基区、AlGaAsSb基区、AlGaAsSb发射区以及GaSb盖层;一上电极,采用溅射的方法制作在GaSb盖层的表面,该上电极的中间开有一光的入射口;一下电极,采用溅射的方法制作在GaSb衬底的下表面。 |
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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