激光热刻蚀有机光刻胶及其制备方法
- 申请号：CN201210335112.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN102880001A
- 公开(公开)日：2013.01.16
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 激光热刻蚀有机光刻胶及其制备方法 | ||
| 申请号 | CN201210335112.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102880001A | 公开（授权）日 | 2013.01.16 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 邓常猛;耿永友;吴谊群 |
| 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/004(2006.01)I;C07C37/20(2006.01)I;C07C39/17(2006.01)I;C07C39/23(2006.01)I |
| 专利有效期 | 激光热刻蚀有机光刻胶及其制备方法 至激光热刻蚀有机光刻胶及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种激光热刻蚀有机光刻胶及其制备方法，该光刻胶是由4、6、10、12、16、18、22、24、25、26、27、28-十二羟基杯[4]芳烃类衍生物构成的，其制备方法是利用间苯三酚与醛类在酸的催化下发生缩合反应生成的。本发明光刻胶可溶于有机溶剂，可用简便的旋涂方法制膜。该光刻胶膜利用激光直接加热气化直接得到光滑的凹坑型微米及纳米级图形结构，无需后续的显影工序，可进一步降低制膜成本、提高制膜效率。 | ||
交易流程
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