专利详情

专利名称	嵌套双压电管推动的三摩擦力压电步进器与步进扫描器
申请号	CN201010254442.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102376696A	公开（授权）日	2012.03.14
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	陆轻铀;王琦
主分类号	H01L25/03(2006.01)I	IPC主分类号	H01L25/03(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I
专利有效期	嵌套双压电管推动的三摩擦力压电步进器与步进扫描器至嵌套双压电管推动的三摩擦力压电步进器与步进扫描器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明嵌套双压电管推动的三摩擦力压电步进器与步进扫描器涉及压电步进器，包括两个压电管、两个保护片、基座、导向器，两压电管中的一个固定地立于基座上构成内压电管，而另一个套在所述内压电管之外也固定地立于该基座上构成外压电管，这两个压电管的压电伸缩方向相同，都为轴向，两个保护片分别设置在这两个压电管的自由端，导向器或者置于内压电管的内部或者置于外压电管的外部或者置于内压电管外壁与外压电管内壁间的间隙中，在垂直于所述压电伸缩方向上设置将所述基座和两保护片分别与导向器相压的正压力，本发明在不显著增加尺寸和不使用堆栈的情况下能产生更大推力，并能在更低的温度下完成高精度的步进和扫描工作。