专利详情

专利名称	一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法
申请号	CN201210390365.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102889980A	公开（授权）日	2013.01.23
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	朱咸昌;伍凡;曹学东;吴时彬
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法至一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法，属于光学检测技术领域，该方法利用郎奇光栅的0级和1级衍射光干涉产生的条纹完成对微透镜的定焦测量：平行光经过郎奇光栅时，由于光栅的衍射效应产生0级和1级衍射光斑；根据衍射光波前相位变化，当光栅位于微透镜焦面上时，光斑重叠区域没有干涉条纹；当光栅位于离焦位置时，光斑重叠区域将由于位相差异产生干涉条纹；通过不同离焦位置的条纹周期变化，即可计算光栅的离焦量从而完成微透镜的定焦测量。本发明根据物理光学理论，定量分析光栅离焦量与条纹周期的关系，通过光栅在焦前和焦后两次离焦时条纹周期的不同，计算两次离焦量，从而完成微透镜及其阵列元件的定焦。