专利详情

专利名称	激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法
申请号	CN200910217806.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101733560A	公开（授权）日	2010.06.16
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	孙继凤;刘立峰;郭晓光;汤建华;田兴志
主分类号	B23K26/42(2006.01)I	IPC主分类号	B23K26/42(2006.01)I
专利有效期	激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法至激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法	法律状态	授权
说明书摘要	激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法，属于半导体器件的激光精细加工领域。该控制系统包括激光器、光电转换器、幅度检测电路模块、光刻控制器、脉宽可调信号发生器、扫描振镜、聚焦透镜、被调电阻。采用脉宽可调控制技术，对系列激光脉冲串的首脉冲或前几个脉冲能量进行抑制，使其等于或低于后续稳定的激光脉冲的能量。采用能量相同的激光脉冲串进行调阻，可获得边缘光滑、无龟裂、无缺损的优质光刻切槽。提高了激光调阻后的阻值稳定性和可靠性，从而提高了激光调阻的片阻品质，尤其针对小尺寸片阻，采用该控制方法的效果更明显。