专利详情

专利名称	粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体
申请号	CN201110187402.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102866265A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	王琦;陆轻铀
主分类号	G01Q60/00(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/00(2010.01)I
专利有效期	粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体至粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体	法律状态	授权
说明书摘要	本发明粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体包括压电定位器，样品座，探针座，粗逼近马达，其特征是还包括导轨，粗逼近马达和压电定位器设置于导轨上，样品座和探针座双方之一设置于压电定位器上，另一方设置于导轨上，样品座、探针座和压电定位器三者之一作为动体受粗逼近马达推动沿导轨进行样品座和探针座间的粗逼近，粗逼近马达在回撤时与动体分开，独自回撤。动体和粗逼近马达间可连松弛的绳子，动体在粗逼近马达回撤时不立即随之回撤，而是等粗逼近马达回撤到把绳子拉直后才由绳子拖着回撤。本发明能阻止粗逼近马达的不稳定性如热漂移、机械振动等传到扫描结构中，大大改善成像质量、减少畸变，尤适于变温变场等环境剧变的情况。