专利详情

专利名称	一种平凸形微透镜及其阵列的制造方法
申请号	CN201210361177.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102866440A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	王翔;孙浩;翟中平
主分类号	G02B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B3/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I
专利有效期	一种平凸形微透镜及其阵列的制造方法至一种平凸形微透镜及其阵列的制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种平凸形微透镜及其阵列的制造方法，在溅射有金属导电层硅片上，利用光刻工艺得到开口为圆形的盲孔或具有不同孔间距和排列方式的盲孔阵列，利用微电铸工艺在孔中电沉积金属，在孔口平面的过电铸过程中，控制电沉积时间得到不同直径和矢高、形状为球面面形或非球面面形的金属质微结构，或得到由金属质微结构构成的阵列充填因子可控调节的金属微结构阵列，以金属微结构及其阵列为模具，浇注聚二甲基硅氧烷（PDMS）后加热固化，获得凹面结构的微结构及其阵列，再在PDMS材质凹腔微结构上浇注光刻胶后用紫外光固化，获得平凸形的球面面形或非球面面形的微透镜及其阵列；本发明具有面形可控、尺度可控、充填因子可控、工艺集成可操作性好以及批量化的多件复制等优点。