专利详情

专利名称	利用声表面波器件测试气体浓度的方法
申请号	CN200810224903.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101726539A	公开（授权）日	2010.06.09
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	李昊峰;贾锐;李维龙;陈晨;朱晨昕
主分类号	G01N29/036(2006.01)I	IPC主分类号	G01N29/036(2006.01)I
专利有效期	利用声表面波器件测试气体浓度的方法至利用声表面波器件测试气体浓度的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种利用声表面波器件测试气体浓度的方法，利用声表面波气体传感器在吸附被测气体前后，声表面波在其上传播速度的不同，来定量得到被测气体的浓度。其主要步骤为：使用信号发生器在双端对声表面波气体传感器一侧发射一短脉冲信号，并用示波器的不同通道对声表面波气体传感器两端同时进行检测，再根据检测结果同被测气体的浓度联系起来，进行标定。利用这种方法可以方便的对各种声表面波气体传感器进行测试。这种方法具有所需设备少，简单，稳定可靠，用途多，误差小的优点。