专利详情

专利名称	一种物理气相沉积加热系统过流保护装置
申请号	CN200810228478.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101724824A	公开（授权）日	2010.06.09
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	王学研;徐英凤
主分类号	C23C14/54(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/54(2006.01)I
专利有效期	一种物理气相沉积加热系统过流保护装置至一种物理气相沉积加热系统过流保护装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，包括过流检测电路，通过感应线圈检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出触发信号；过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时控制加热系统电流调节电位器的电源切断；工作电源电路，为上述各电路中的用电器件提供工作电源。本发明具有延时触发功能，避免了在加温过程中加热电流的反复波动，减少了由于负载易受膜材颗粒的影响而反复变化，引起过电流的反复冲击给加热体带来的损坏。