专利详情

专利名称	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法
申请号	CN200910217899.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101718958A	公开（授权）日	2010.06.02
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	孙继凤;刘立峰;王忠生;汤建华;田兴志
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法至绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法	法律状态	授权
说明书摘要	绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法，本发明属于半导体器件的激光精细加工领域，涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Fθ聚焦透镜时，产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系：激光器输出光送给扫描振镜，光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振镜的偏转角，经偏转后的激光再传送给聚焦透镜，激光经过聚焦透镜后聚焦于工作台面上。本发明的优点是，采用非线性像差补偿校正算法，根据非线性畸变量控制双振镜扫描角度，补偿Fθ聚焦透镜造成的非线性像差，解决了激光调阻中因透镜像差造成的光刻定位不准的问题，实现了小尺寸片阻的光刻精确定位控制。