专利详情

专利名称	用于重离子辐照器件的多维定位装置
申请号	CN200920000952.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201444164	公开（授权）日	2010.04.28
申请（专利权）人	中国科学院近代物理研究	发明（设计）人	侯明东;姚会军;刘杰
主分类号	G01R1/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01R1/02(2006.01)I
专利有效期	用于重离子辐照器件的多维定位装置至用于重离子辐照器件的多维定位装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种用于重离子辐照器件的定位装置。一种用于重离子辐照器件的多维定位装置，包括有工作台(1)，其上设有底座(3)，其主要特点是在底座(3)上设有与工作台(1)垂直的滑轨(2)；在滑轨(2)上设有升降工作台(5)。本实用新型的优点是在重离子辐照实验中，快速地根据预先测定好的位置进行定量的切换定位装置，实现了在重离子辐照实验中微电子器件的三维平动和一维转动。对于采集数据和获得数据的质量以及提高实验效率、节省束流时间具有重要的意义。操作简单方便，位置精度高，结构新颖、简单并实现了定量调整和控制，为今后进一步实现计算机自动控制打下了结构基础。