专利详情

专利名称	一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构
申请号	CN200910237660.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101710204	公开（授权）日	2010.05.19
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	王建;胡松;赵立新;邢薇
主分类号	G02B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构至一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构，所述的镜片偏心微调机构安装在镜片框及镜筒上，镜片框位于镜筒内，并与镜筒之间有一定的间隙，保证镜片的位移调整量，所述的镜片偏心微调机构包括调微头、滑块、导向柱、导向柱底座、弹性垫；调微头安装在镜筒中并与物镜光轴垂直，弹性导向机构安装在镜片框的侧面，导向柱底座与镜片框的接触面为弹性导向机构；滑块镶嵌在导向柱底座上的导向柱中。本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的偏心调整，以达到镜片中心偏公差的要求，提高了各透镜对轴心装调精度，克服了因镜片偏心对像质产生不良影响，保证像质和焦面稳定，保证了光刻质量。