实现拾取和翻转芯片的装置
- 申请号：CN200910217905.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 公开(公开)号：CN101710565
- 公开(公开)日：2010.05.19
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 实现拾取和翻转芯片的装置 | ||
| 申请号 | CN200910217905.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101710565 | 公开（授权）日 | 2010.05.19 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张德龙;吴玉彬;宋志;常丰吉;田学光 |
| 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I |
| 专利有效期 | 实现拾取和翻转芯片的装置 至实现拾取和翻转芯片的装置 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及一种实现拾取和翻转芯片的装置，该装置利用翻转电机通过翻转电机连接套直接驱动吸头装置运动，从而实现芯片翻转，翻转杆内部的通孔与导向杆、吸杆、吸嘴的轴孔共同构成真空通道，外部气路通过气管接头和该真空通道作用于吸嘴端部，来进行芯片吸取。本发明由于采用翻转电机直接驱动吸头装置运动，具有结构简单、体积小、工作可靠、成本低等优点。 | ||
交易流程
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