专利详情

专利名称	一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构
申请号	CN200910237659.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101702051	公开（授权）日	2010.05.05
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	赵立新;胡松;王建;邢薇
主分类号	G02B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构至一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种投影光刻物镜中的镜片倾斜微调机构，所述的镜片倾斜微调机构安装在镜片框中，它包括调节螺栓座、调节螺栓、传动弹簧、传动杠杆、镜片保护夹；调节螺栓被固定在位于镜片框上端的调节螺栓座上，调节螺栓的前端为锥型，传动弹簧的上端套在调节螺栓的前锥端，传动弹簧的下端挂在传动杠杆上，传动杠杆的后端被固定在镜片框上，传动杠杆的前端顶在位于镜片边缘的镜片保护夹的下方。本发明能够分别对投影光刻物镜中的各个镜片进行精确的倾斜调整，以达到镜片倾斜公差的要求，提高了各镜片的装调精度，克服了因镜片倾斜对像质产生的不良影响，保证了光刻质量。