用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置
- 申请号:CN200920107674.6
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN201427858
- 公开(公开)日:2010.03.24
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置 | ||
申请号 | CN200920107674.6 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN201427858 | 公开(授权)日 | 2010.03.24 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 景玉鹏;惠瑜;高超群 |
主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I |
专利有效期 | 用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置 至用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型公开了一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置,该 装置至少包括过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、 主工作腔室(5)、温度压力控制装置(7)和分离器(10),其中,过滤器 (1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)和 分离器(10)依次连接,温度压力控制装置(7)连接于主工作腔室(5), 分离器(10)连接于过滤器(1),分离器(10)与过滤器(1)构成循环 回路。利用本实用新型,有效地解决了牺牲层释放工艺中的粘连效应。同 时,二氧化碳在相态转换时压力可调,消除了有机置换液凝固时的涨裂现 象。二氧化碳的使用更加绿色环保,无有机污染,节约资源。 |
交易流程
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