专利详情

专利名称	一种混成式三维神经元探针阵列结构
申请号	CN201220207702.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202657949U	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	程正喜;庄佚溦;张学敏;翟厚明;施永明;马斌
主分类号	B81B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81B1/00(2006.01)I
专利有效期	一种混成式三维神经元探针阵列结构至一种混成式三维神经元探针阵列结构	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种混成式三维神经元探针阵列结构，它包括：信号读出电路衬底，与所述信号读出电路衬底倒焊互连的探针阵列；所述探针阵列的每个探针包括：针尖，针身，以及针底座；相邻探针之间的针底座之间相互分离；相邻所述探针的所述针底座之间的间距范围为25至75微米，针尖由两个相邻交接的斜面和两个相互垂直交接的垂直面围成，两个所述垂直面垂直于所述硅衬底，所述斜面与所述垂直面之间的夹角为V形沟槽的两个斜面的夹角的1/2。该混成式三维神经元探针阵列的制备成品率高，并且制备工艺相对简单，适合大规模制备。