专利详情

专利名称	平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器
申请号	CN201210407660.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102866497A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	庄须叶;张建飞;姚军;邱传凯;周崇喜
主分类号	G02B26/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B26/00(2006.01)I
专利有效期	平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器至平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调谐滤波器，微桥部的桥面作为法布里珀罗腔的上电极；光栅位于微桥部的桥面的中央处；基底为最下层；多个下电极，平行对称的分布在微桥部的下面，分别固定在两个绝缘层上面；两个绝缘层覆盖在基底上，将多个下电极与上电极之间的电绝缘；两个矩形孔位于微桥部的两边；前腔面位于光栅的区域所对应桥面的下表面；后腔面位于光栅下方的在两绝缘层之间的基底的上表面，用作法布里珀罗腔的后腔面；在多个下电极和上电极之间加入不同的电压并形成复杂的静电场，使法布里珀罗腔的可动腔面向下移动的过程中，调整可动腔面的形貌，用于调整法布里珀罗腔前腔面与后腔面之间的平行度。