专利详情

专利名称	LED光学特性检测方法及检测装置
申请号	CN201110191200.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102865999A	公开（授权）日	2013.01.09
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	陈鲁;夏洋;张超前;张学一
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G01R31/44(2006.01)I
专利有效期	LED光学特性检测方法及检测装置至LED光学特性检测方法及检测装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明提供一种LED光学特性检测方法及检测装置，方法包括：提供激光光源；提供光栅，将光栅放置在激光光源的光路上；在光栅背后放置LED，使LED有源层与光栅的距离满足泰伯距离，在LED有源层上形成光栅自成像，光栅自成像包括阵列式排布的照明点；采集LED有源层受阵列式排布的照明点激发产生的荧光。装置包括：激光光源，用于提供相干光束；光栅，用于在接收相干光束时形成光栅自成像；平台，用于承载待检测的LED，使LED有源层与光栅距离为泰伯距离，在LED有源层上形成光栅自成像，光栅自成像包括阵列式排布的照明点；采集器，用于采集LED有源层受阵列式排布的照明点激发而形成的荧光。本发明检测精度较高。