专利详情

专利名称	全环光子筛及其制作方法
申请号	CN200810222330.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101676750	公开（授权）日	2010.03.24
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	贾佳;谢长青;刘明
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G02B5/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G03F7/36(2006.01)I
专利有效期	全环光子筛及其制作方法至全环光子筛及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种全环光子筛，该全环光子筛包括：光子筛，该光子筛制作在透明介质上，其衍射孔径与相应菲涅耳环带宽度相等；刻蚀圆孔，该刻蚀圆孔位于其余的菲涅耳环带处；该刻蚀圆孔数量和位置的决定规律与光子筛圆环相同，从原来的偶数环增加到奇数环，或者从原来的奇数环增加到偶数环，在波带片的奇数环带和偶数环带都有透光部分，分别是奇数环带的透光孔和偶数环带的刻蚀位相透光孔，每个透光孔的直径和相应的环带宽度相同，且该刻蚀圆孔与原来的衍射孔构成位相板。本发明同时公开了一种制作全环光子筛的方法。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射光强的提高，即实现了激光束远场衍射斑的主斑能量的提升。