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一种畸变测试仪

  • 申请号:CN200810151034.5
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院西安光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN101676704
  • 公开(公开)日:2010.03.24
  • 法律状态:专利申请权、专利权的转移
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种畸变测试仪
申请号 CN200810151034.5 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN101676704 公开(授权)日 2010.03.24
申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 赵建科;张周锋;周艳;王锋;王虎;昌明
主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I
专利有效期 一种畸变测试仪 至一种畸变测试仪 法律状态 专利申请权、专利权的转移
说明书摘要 本发明涉及一种畸变测试仪,包括转台,该测试仪还包括光源以及显微成 像系统;光源以及显微成像系统处于同一光轴上并置于转台两侧。本发明提供 了一种测量精度高、效率高、结构稳定且功能可以扩展的畸变测试仪。

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